1. 真空腔規(guī)格: 材質(zhì)6061-T6鋁合金 240mm*300mm*200mm
2. 電極:平板氣浴電極,材質(zhì)6061-T6鋁合金
3. 電極尺寸:205mm *205mm
4. 頻率:13.56MHz (可選配40KHz射頻等離子源)
5. 功率:0-500W連續(xù)可調(diào),精度1W,可在設(shè)備運行中隨時調(diào)整參數(shù)
6. 氣體控制:針式氣體流量閥, 60-600ml 2路氣體
7. 真空計:電偶式真空計,精度:0.01mTor
8. 控制方式:4.3寸工業(yè)控制觸摸屏,全手動控制和全自動控制兩種控制方式
控制軟件功能:界面顯示實時工作狀態(tài)