1. 桌面型,普通實驗臺即可安置。操作簡便上手快、使用成本極低、易于維護(hù)。1
2.適合于4~6寸硅片及相同面積去膠,可選配硅片專用托盤。
3.內(nèi)置雙層氣浴電極,有效提高清洗效率。配有節(jié)流閥,防止真空泵油霧回流。可選配耐用電極,降低長時間使用后的腔體污染。
4.配置200W/13.56MHz等離子發(fā)生器。兼顧物理作用和化學(xué)作用。
5.具備前后吹掃功能,保證樣品處理潔凈度,可配置獨立吹掃氣路。
6.可選配電極間距可調(diào),對各種幾何形狀、表面粗糙程度各異的金屬、陶瓷、玻璃、硅片、塑料等物件表面進(jìn)行超清洗和表面改性。