等離子體診斷的方法
等離子體診斷指的是通過光、電、磁等各種手段，對等離子體中的各種物理、化學(xué)過程進(jìn)行監(jiān)測與分析。等離子體診斷使人們對等離子體的理解更加深入，從而更好地控制并
應(yīng)用等離子體。根據(jù)是否與等離子體接觸，等離子體診斷可分為侵入式與非侵入式兩種。根據(jù)測量對象的不同，可分為電學(xué)、光學(xué)、粒子診斷等。電學(xué)診斷中靜電探針是最為
常見的診斷方法。
朗繆爾探針是等離子體診斷中最早、最基本的手段之一，它是由朗繆爾(Langmuir)于 1923年提出。
下圖所示為朗繆爾探針的測量原理圖。其結(jié)構(gòu)非常簡單， 就是一根金屬絲插入等離子體中。通常所用的金屬材料為鎢絲、 鉭絲或銷絲等。
根據(jù)探針測量的伏安特性曲線，可以獲得電子溫度、電子密度、懸浮電位、等離子體空間電位等參量。雖然探針對其周圍的等離子體有一定的擾動，但是限于探針周圍
幾個德拜長度的范圍內(nèi)，因而具有一定的空間分辨能力。通過移動探針，可獲得這些等離子體參量的空間分布。
朗繆爾探針是探測等離子清洗機(jī)真空腔體中電子密度，強度，分布的一個有效的手段，對于不同的區(qū)域的等離子體的被測等離子體應(yīng)當(dāng)是準(zhǔn)電中性的，即電子密度與離子
密度相等。磁場的存在使得帶電粒子圍繞磁力線做回旋運動，帶電粒子的運動將不是各向同性而是各向異性的。
